清代在山西省沒有設總督，但是當時的山西省還包括今內蒙古自治區的一部分
1820年山西省行政區劃
冀寧道 太原府 汾州府 潞安府 澤州府 遼州 沁州 平定州

河東道 蒲州府 平陽府 解州 隰州 霍州

雁平道 大同府 朔平府 甯武府 絳州 忻州 保德州 代州

歸綏道 歸化城廳 薩拉齊廳 豐鎮廳 托克托廳 寧遠廳 清水河廳 和林格爾廳 興和廳 武川廳 陶林廳 五原廳 東勝
1911年山西省行政區劃

清朝宣統三年，山西編戶一百九十九萬三十五，口九百二十一萬九千九百八十七。領府九，直隸州十，廳十二，州六，縣八十五。
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冀寧道
太原府
陽曲太陽榆次太谷徐溝交城文水嵐興岢嵐州

汾州府
汾陽孝義平遙介休石樓臨寧鄉永寧州

潞安府
長治長子屯留襄垣潞城壺關黎城

澤州府
鳳臺高平陽城陵川沁水

遼州直隸州
城和順榆社

沁州直隸州
城沁源武鄉

平定直隸州
城盂壽陽

忻州直隸州
城定襄靜樂
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河東道
平陽府
臨汾洪洞浮山岳陽曲沃翼城太平襄陵汾西鄉寧吉州

蒲州府
永濟臨晉虞鄉榮河猗氏

解州直隸州
城安邑夏平陸芮城

隰州直隸州
城蒲永和大寧

霍州直隸州
城趙城靈石
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雁平道
大同府
大同懷仁山陰陽高天鎮廣靈靈丘渾源州應州

絳州直隸州
城垣曲聞喜絳河津稷山

朔平府
石玉左云平魯朔州

寧武府
寧武偏關神池五寨

代州直隸州
城崞五臺繁峙

保德直隸州
城河曲
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歸綏道
歸化城直隸廳

薩拉齊直隸廳

清水河直隸廳

豐鎮直隸廳

托克托直隸廳

寧遠直隸廳

和林格爾直隸廳

興和直隸廳

陶林直隸廳

武川直隸廳

五原直隸廳

東勝直隸廳